
研究方向:集成电路装备、工艺与测试
研究方向:感存算一体电路和芯片设计、先进制程下的设计工艺协同优化
研究方向:微纳米加工工艺开发,磁控溅射设备开发,实验教学设备开发
研究方向:药物包裹控释、液滴生成机制研究、微流控生物检测系统
研究方向:半导体器件的制备与应用,微纳加工工艺制备传感器器件
研究方向:自旋电子学,超快磁动力学,超快光学,太赫兹科学
研究方向:薄膜制备过程的多维度物理学仿真研究、磁存储器材料制备工艺材料物理研究、围绕高精度薄膜沉积设备,开展设备机械设计及仿真、设备控制系统算法开发以及设备工艺研究三个细分方向的研究
研究方向:极端场景下低维材料的物性与应用研究