助理教授

助理教授

柳洋
讲师,硕士生导师

研究方向:微纳米加工工艺开发,磁控溅射设备开发,实验教学设备开发

邮箱:liuyang_me@buaa.edu.cn

教师个人主页
基本情况

教育经历:

2004-2008 华中科技大学 材料科学与工程 学士

2010-2015 中国科公司大学(上海光学精密机械研究所) 材料学 博士

工作经历:

2008-2009 青岛经济技术开发区海尔热水器有限公司 工艺经理

2015-2018 QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司 产品经理

2018-2020 det365在线登录 博士后

2020至今 det365在线登录 讲师

主讲课程

本科生课程:微纳器件制备实训,芯片加工技术入门

研究生课程:微纳米工艺与实践,集成电路装备开发技术

研究方向

微纳米加工工艺开发,磁控溅射设备开发,实验教学设备开发

教学科研成果

获奖情况:

1. “集成电路超高精度薄膜溅射装备探索与设计虚拟仿真实验”获批国家级一流课程

发明专利:

[1] 程厚义; 赵巍胜; 张博宇; 姚宇暄; 柳洋 靶头、磁控溅射靶枪及磁 控溅射系统 CN113846304A

代表性论文:

[1] Development of atomic-scale thin-film deposition system for perpendicular magnetic tunnel junctions with high tunneling magnetoresistance

[2] Spin–orbit torque driven multi-level switching in He+ irradiated W–CoFeB–MgO Hall bars with perpendicular anisotropy

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