副教授

教育经历：

2007-2011 首都师范大学 光电信息工程 本科

2011-2014 中国科公司光电研究院 光学工程 硕士

2014-2020 det365在线登录 物理学 博士

2019-2020 悉尼科技大学 光学 访学

工作经历：

2020-2025 中国科公司微电子研究所 博士后，助理研究员，副研究员

2025至今 det365在线登录 副研究员

本科生课程：Introduction to Laser Processing in Integrated Circuit Fabrication

研究生课程：集成电路特种加工工艺与装备技术

激光精密加工（机理建模、过程机制、质量表征、工艺优化与系统集成）；异质界面优化

发明专利：

[1] 石海燕;彭谞睿;张紫辰;张喆;李进;张利;李俊斌;李澳 激光加工装置及激光加工方法 ZL202511863716.9

[2] 石海燕;侯煜;李曼;文志东;张昆鹏;张喆;宋琦;许子业;薛美;张紫辰 一种碳化硅晶片的生成方法 ZL202211322470.0

[3] 张紫辰;石海燕;张喆;李进;张利;彭谞睿;李俊斌;李澳 金刚石异质结构制孔方法 ZL202511863706.5

[4] 张紫辰;石海燕;张喆;张利;彭谞睿;李进;李澳 金刚石复合制孔方法及装置 ZL202511863703.1

[5] 张紫辰;石海燕;张喆;张利;李进 激光检测系统 CN202511863686.1

代表性论文：

[1] Haiyan Shi, Qi Song, Yu Hou, Song Yue, Yan Li, Zhe Zhang, Man Li, Kunpeng Zhang, Zichen Zhang*. Investigation of structural transformation and residual stress under single femtosecond laser pulse irradiation of 4H-SiC. Ceramics International, 2022, 48(17): 24276-24282

[2] Haiyan Shi, Zhe Zhang, Songmei Yuan, Zhen Li, Yu Hou, Song Yue, Ran Wang, Man Li, Zichen Zhang*, Investigation on the surface formation mechanism in scratching of CFRP composites with different fiber orientations. Journal of Materials Processing Technology, 2022, 307: 117694

[3] Shi Haiyan, Yuan Songmei*, Li Zhen, Song Heng, Qian Jianqiang. Evaluation of surface roughness based on sampling array for rotary ultrasonic machining of carbon fiber reinforced polymer composites [J]. Measurement, 2019, 138: 175-181

[4] Haiyan Shi, Songmei Yuan*, Chong Zhang, Bochuan Chen, Qilin Li, Zhen Li, Guangyuan Zhu & Jianqiang Qian, A cutting force prediction model for rotary ultrasonic side grinding of CFRP composites considering coexistence of brittleness and ductility.International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2019, 106(5-6): 2403-2414