副教授

副教授

王新河
副教授,博士生导师

研究方向:自旋电子器件与电路、集成电路工艺测控与设备控制技术

邮箱:xinhe@buaa.edu.cn

教师个人主页
基本情况

教育经历:

2008-2012 清华大学 数理基础科学 本科

2012-2018 清华大学 凝聚态物理 博士

工作经历:

2018-2020 det365在线登录电子信息工程公司 “博新计划”博士后

2020至今 det365 工艺与装备系主任、副经理

兼职情况:

中国电子学会电子测量与仪器分会副主任委员

中国仪器仪表学会科学仪器学术委员

中国机械工程学会半导体装备分会委员

主讲课程

本科生课程:固体物理A、集成电路导论

研究生课程:固态电子与光电子学、集成电路制造产业技术体系、集成电路材料与装备

研究方向

自旋电子器件与电路、集成电路工艺测控与设备控制技术

教学科研成果

获奖情况:

1. 北京市科技新星

2. 小米青年学者

发明专利:

[1] 王新河;张跃凯;王松涛;常晓阳;赵巍胜 温度控制方法、装置、计算机设备和可读存储介质 ZL 2025 1 1795278.7

[2] 齐廉浩;王新河;毛静远;常晓阳;赵巍胜;钟涛;彭宇霖; 刘钊成 刻蚀终点监测方法及装置 ZL 2023 1 0942856.X

[3] 戴星灿;王新河;林晓阳;常晓阳;赵巍胜 刻蚀气体监测系统及气体状态分析方法 ZL202210228509.6

[4] 王新河等 Touch and hover sensing device US20160188094

[5] 王新河等 Electrostatic distribution measuring instrument US20160187405

代表性论文:

[1] Wang X, Yang W, Yang W, Cao Y, Lin X, Wei G, Lu H, Tang P, Zhao W. Spin manipulation by giant valley-Zeeman spin-orbit field in atom-thick WSe 2[J]. Applied Physics Reviews, 2022, 9(3): 031402.

[2] Qi L, Mao J, Chang X, Lin X, Wang X. Improving Endpoint Detection Sensitivity in Plasma Etching With Small Openings[J]. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 2025, 38(3): 717~727.

[3] Fang Y, Zhang Z, Wang X. When Adaptation Fails: A Gradient-Based Diagnosis of Collapsed Gating in Vision-Language Prompt Learning[C]//2026 IEEE ICME(CCF class B)

[4] Wang X, Cong L, Zhu D, Yuan Z, Lin X, Zhao W, Bai Z, Liang W, Sun X, Deng G-W, Jiang K. Visualizing nonlinear resonance in nanomechanical systems via single-electron tunneling[J]. Nano Research, 2021(14): 1156~1161.

[5] Yang N, Wang X, Lin X, Zhao W. Exploiting Carbon Nanotube FET and Magnetic Tunneling Junction for Near-Memory-Computing Paradigm[J]. IEEE Transactions on Electron Devices, 2021, 68(4): 1975~1979.

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