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张紫辰
教授,博士生导师

研究方向:半导体激光微米纳米智能加工技术及装备,跨域激光智能通信和干扰载荷技术

邮箱:zz241@buaa.edu.cn

教师个人主页
基本情况

教育经历:

2001-2005 东南大学 电子科学与技术 本科

2005-2007 东南大学 物理电子学 硕士

2007-2012 剑桥大学 光电子技术 博士

工作经历:

2012-2016 清华大学 助理研究员

2016-2024 中国科公司微电子研究所 研究员

2024至今 det365在线登录 二级教授

主讲课程

本科生课程:Introduction to Laser Processing in Integrated Circuit Fabrication、科研课堂

研究生课程:集成电路特种加工工艺与装备技术、集成电路技术前沿进展

研究方向

半导体激光微米纳米智能加工技术及装备,跨域激光智能通信和干扰载荷技术

教学科研成果

获奖情况:

1. 2023年 国家级领军人才

2. 2024年 中国青年科技奖

3. 2021年 中国仪器仪表学会技术发明一等奖(R1)

4. 2024年 北京市杰出青年科技奖

发明专利:

[1] 张紫辰,李进,程天时,张喆,孙硕,张利,石海燕,彭谞睿 激光全息加工装置 ZL202511863704.6

[2] 张紫辰,石海燕,张喆,李进,张利,彭谞睿,李俊斌 金刚石异质结构制孔方法 ZL202511863706.5

[3] 张紫辰,彭谞睿,张喆,石海燕,张利,李进 激光开槽的方法及系统 ZL202511863689.5

[4] 张紫辰,李进,张利,张喆,彭谞睿,石海燕 激光通信扫描精度提高方法及激光通信光学系统 ZL202511050393.1

[5] 张紫辰,李进,张利,石海燕,张喆,彭谞睿 空间光调制器的温度调节装置及方法 ZL202511050388.0

代表性论文:

[1] Zichen Zhang, Zheng You, Daping Chu. Fundamentals of phase-only liquid crystal on silicon (LCOS) devices [J]. Light: Science & Applications, 2014, 3 (10): e213-e213. (First author)

[2] Yuhang Li,Zhe Zhang; Zichen Zhang*. Surface micro-morphology and nanostructure evolution in hybrid laser processes of slicing and polishing single-crystal 4H-SiC [J]. Journal of Materials Science & Technology, 184 (2024) 235-244. (Corresponding author)

[3] Li Zhang, Lingyun Zhang; Zichen Zhang*. Multi-target positioning and motion tracking enabled by a compound meta-eye system [J]. Microsystems & Nanoengineering. 2026, 12, 203. (Corresponding author)

[4] Han Zhou, Xinyi Chen, Jin Li;Zichen Zhang*. Generative Artificial Intelligence in the Metaverse Era: A Review on Models and Applications. Research. 2025; 8:0804. (Corresponding Author)

[5] Yiling Lian, Yongkang Li; Zichen Zhang*. Dual-pulse femtosecond laser processing of diamond: Delay-dependent thermo-mechanical response and shock-induced damage evolution [J]. Journal of Materials Processing Technology, 357 (2026)119492. (Corresponding Author)

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